Silicio plokštelės yra viena iš svarbiausių žaliavų elektronikos pramonėje, daugiausia naudojama integriniams grandynams, kondensatoriams, diodams ir kitiems komponentams gaminti. Integrinės grandinės yra mažos grandinės, sudarytos iš daugybės pagrindinių komponentų, tokių kaip tranzistoriai, kondensatoriai, rezistoriai ir kt., kurios gali būti naudojamos įvairiuose elektroniniuose įrenginiuose, tokiuose kaip kompiuteriai, ryšių įranga ir pramogų įranga. Puslaidininkinės silicio plokštelės yra viena iš pagrindinių integrinių grandynų gamybos medžiagų. Puslaidininkinių silicio plokštelių dydis pagal skersmenį skirstomas į 2 colius (50,8 mm), 4 colius (100 mm), 6 colius (150 mm), 8 colius (200 mm) ir 12 colių (300 mm). Skirtingiems puslaidininkiniams gaminiams naudojami skirtingi silicio plokštelių dydžiai ir procesai.
Didelio dydžio silicio plokštelių privalumai
Vienoje silicio plokštelėje pagaminamų lustų skaičius didėja: kuo didesnė plokštelė, tuo mažiau atliekų lieka kraštuose, o tai pagerina silicio plokštelės panaudojimo greitį ir sumažina išlaidas. Pavyzdžiui, naudojant 300 mm silicio plokšteles, jos turimas plotas yra dvigubai didesnis nei 200 mm silicio plokštelių pagal tą patį procesą, o tai gali suteikti našumo pranašumą iki 2,5 karto daugiau nei lustų skaičius.
Padidėja bendras silicio plokštelių panaudojimo lygis: Padarius stačiakampes silicio plokšteles ant apvalių silicio plokštelių, kai kurios silicio plokštelių kraštų vietos taps netinkamos naudoti, o padidinus silicio plokštelių dydį, sumažėja nenaudojamų kraštų nuostolių santykis.
Gerinamas įrangos pajėgumas: jei pagrindinis proceso srautas: plonasluoksnis nusodinimas → litografija → ėsdinimas → valymas ir kitos pagrindinės kūrimo sąlygos išlieka nepakitusios, sutrumpėja vidutinis lusto gamybos laikas, pagerėja įrangos panaudojimo lygis ir plečiami įmonės gamybos pajėgumai.
