Kokius rodiklius reikia išbandyti prieš išsiunčiant monokristalines silicio plokšteles?

Jul 05, 2024Palik žinutę

Kaip pavyzdį paimkime 4-colių monokristalinę silicio plokštelę:

news-622-757

Kaip parodyta aukščiau:

 

Orientacija: <100>nurodo silicio plokštelės kristalografinę orientaciją. Ši orientacija turi didelę įtaką plokštelėje esančių prietaisų elektroninėms savybėms ir gamybos procesui.

Tipas:P (boras) su vienu pirminiu plokščiu reiškia, kad plokštelė yra P tipo silicio, tai yra, ji yra legiruota boru, kad susidarytų perteklinės skylės. „vienas pirminis plokščias“ reiškia plokštelės krašto formą, kuri padeda nustatyti kristalinės gardelės kryptį.

Atsparumas:1-10 Ohm-cm yra plokštelės savitoji varža.

Įvertinimas:Prime / CZ Virgin nurodo silicio plokštelės kokybę ir grynumą. "Prime" yra aukščiausios klasės ir naudojamas didelio tikslumo programoms; „CZ“ reiškia vieno kristalo silicio plokšteles, pagamintas CZ metodu.

Danga:Nėra, natūralus oksidas reiškia tik tai, kad plokštelės paviršiuje nėra papildomo plėvelės sluoksnio, tik natūraliai susidaręs silicio dioksido sluoksnis.

Storis:525 µm (+/- 20 µm) yra plokštelės storis, o paklaida kontroliuojama plius ar minus 20 mikronų. Storio vienodumas yra labai svarbus tolesniuose apdorojimo etapuose.

Skersmuo:100 mm nurodo plokštelės skersmenį.

Iškrypimas:<=30µm, the lower the warp, the better the wafer quality.

Nusilenkimas: <=30µm, similar to warping, it is also a measure of wafer flatness.

Pagrindinis padėties kraštas:32.5 +/- 2.5 mm nurodo pagrindinio plokštelės padėties krašto ilgį, kuris naudojamas plokštelės krypčiai nustatyti. Kai kurios plokštelės taip pat turi antrines padėties nustatymo briaunas, kaip parodyta toliau:

news-220-220

Paviršiaus nelygumai:0.2 - 0.3 nm, viena poliruota pusė reiškia, kad silicio plokštelė yra vieno poliruoto silicio plokštelė, o paviršiaus šiurkštumo vienetas yra nanometrai.