Kur naudojamos silicio plokštelės poliravimo pagalvėlės?

Poliruotos plokštelės yra dažniausiai naudojamas produktas, o kiti silicio plokštelių gaminiai gaminami antrinio apdorojimo būdu poliruotų plokštelių pagrindu.
Poliruotos plokštelės yra pačios pagrindinės ir plačiausiai naudojamos silicio plokštelės. Poliruotos plokštelės gali būti tiesiogiai naudojamos puslaidininkiniams įtaisams gaminti, plačiai naudojamos atminties lustuose ir maitinimo įrenginiuose, taip pat gali būti naudojamos kaip substratinės medžiagos epitaksinėms plokštelėms, SOI silicio plokštelėms ir kitų tipų silicio plokštelėms.
Nuolat mažėjant būdingam integrinių grandynų linijos pločiui ir vis smulkesniam litografijos tikslumui, itin maži silicio plokštelės nelygumai sukels integrinių grandynų grafikos deformaciją ir išnirimą. Silicio plokštelių gamybos technologija susiduria su vis aukštesniais reikalavimais ir iššūkiais. Lustų paviršiaus dalelių dydis ir švara taip pat turi tiesioginės įtakos puslaidininkinių gaminių išeigai.
Todėl poliravimo procesas yra labai svarbus siekiant pagerinti silicio plokštelės paviršiaus lygumą ir švarumą. Pagrindinis principas yra pasiekti puslaidininkinės silicio plokštelės paviršiaus planarizaciją ir sumažinti šiurkštumą, pašalinant likutinį pažeidimo sluoksnį ant apdirbamo paviršiaus.